TSMCは2019年Q3の収支報告にて、5nmプロセスの進捗を発表しました。TSMCによると、5nmは既に良好な歩留まりでリスク生産に入っており、EUVを積極的に採用し、2020年上半期の量産に向けて順調に進んでいるとのこと。また、5nmは7nmと比較して80%のロジック密度の増加、約20%の速度増加を実現するという。
TSMCは3nmについても少し触れているものの、こちらは具体的な日付については言及しておらず、「進捗状況は良好」と言うに留めています。
2019/12/7追記
3nmについて新たな情報が出てまいりました。詳細は以下の記事をご覧くださいませ。